1． 真空爐處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。
2． 真空爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分均通水冷卻。
3． 工件在真空狀態下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
4． 真空爐的保養應在真空或充純氮狀態下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
5． 國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h ，國外某些企業的標準為0.67Pa/h
6． 真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距。
7． 升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。